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【旋風集塵器】
旋風集塵器裝置於鍋爐節熱器出口，為所有廢氣處理系統中第一組主要設備，主要的功用在收集廢氣中顆粒較大的懸浮微粒。
本廠每套廢氣處理系統中均提供兩套100%處理能力之旋風集塵器 組，以因應阻塞情形造成之廢氣處理系統停擺的事故發生。
【袋濾式集塵器】
袋濾式集塵器為本廠最尾端的廢氣處理設備，從旋風集塵器 處理後的氣體再經由半乾式洗滌塔噴入泥狀硝石灰以去除廢氣中酸性氣體及降溫後，進入袋濾式集塵器，經由濾袋的過濾後大多數的廢氣懸浮粒子，均在這個階段被清除。
最後得到符合排放許可的氣體再排放大氣之中。
【活性碳加藥裝置】
為防廢氣溫度下降後，已分解的戴奧辛產生部份合成再生的可能性，在本系統中加入了活性碳系統，利用多孔徑的活性碳吸附氣體中的重金屬與戴奧辛等化合物，達成真正清潔的氣體處理結果。
【汽渦輪機組】
熱能回收的方式，是利用垃圾燃燒時所產生的熱量加熱鍋爐中的水，使其氣化為過飽和蒸汽。
而該蒸汽經由主蒸汽管路導引到本廠設置的汽渦輪機組，藉由推動渦輪機中的葉片，形成發電所需的旋轉動力，最後經由減速齒輪組的幫助下，我們得到了適合發電所需的轉速，並且將其傳送到發電機組上。
【發電機組】
如圖所示，橘紅色的設備即為本廠所設置的主要發電機組，經由減速齒輪組傳來汽渦輪機的動力，帶動發電機中的轉子使其所產生的磁力線可以旋轉切割定子部的線圈，以產生電力。
本發電機組在鍋爐滿載運轉的情形下，可發電約35MW，而機組本身最高可達的發電量則遠大於這個數值，約為 41MW。
【主變壓器】
發電機所發出的電壓雖然已經達到10.5kV，然而卻仍無法直接輸出到台電的輸電線路上，為了併上台電的輸電線路，必需再一次昇高電壓，以配合附近輸電網路的需求。
廠內的主變壓器便是擔任這個角色，連絡台電與本廠的電力系統，當發電機沒有發電時，主變壓器會將台電輸入的電力降低電壓，供廠內使用。
當發電機發電時並可輸出台電時，則將欲輸出的電力昇高電壓，輸出台電。
【69 kV 開關站】
發電機所發出的電力為10.5 kV 60 Hz 的電壓等級，正常運轉的情形下除了供應本廠自身的電力需求外，尚可以藉由本廠所設置的主變壓器組昇壓成 69 kV，再經由併聯發電的方式從 69 kV開關站回饋予台電特高壓線路。
本廠69 kV開關站採取 SF6 氣體絕緣開關（俗稱GIS），本開關站在發電機未運轉的情形下，可由台電接收本廠所需電力，發電機運轉後，則藉由電力潮流的控制，自動的輸入或輸出電力給連接的特高壓線路。